euvllc联盟的研发费用出资比例中，牵头的美国能源部出30%，intel和gca各出20%，motorola、ibm、it、adm和hp各出4%，micron和cymer等其他33家科技企业和研究机构共出10%，今后享受的权利同出资比例相同。
gca需要出资的20%中，以前的euv研究成果
《我的一九八五》第一三八四章光刻机的现状（上）